北京東恒潤鑫科技有限公司的靶材生產線上,一片片靶材被制造出來,源源不斷銷往國內外市場。據說一塊小小的靶材,可以制造出二三十萬個半導體器件,是具有高附加值的特種電子材料,無論是常見的電子家用產品,還是高科技的光學儀器,當中都少不了靶材的身影,其重要性可見一斑。
作為華北地區首屈一指的靶材制造企業,北京東恒潤鑫科技有限公司每年可以制造大量的靶材及其附屬產品,為我國的材料行業發展做出了重要貢獻,同時也憑借自身的實力承接了多個制造類企業的訂單,產品在國內市場上備受好評,甚至還在國際上有著一定的名氣。之所以公司能夠取得如此優異的成績,離不開公司總經理,也是公司首席靶材研究專家姚余先生及其團隊的艱苦攻關。
2013年,當姚余先生建立北京東恒潤鑫科技有限公司(以下簡稱“東恒潤鑫”)時,國際上僅有少數幾家公司掌握高端貴金屬靶材的研發及生產技術,而國內從事相關工作的也幾乎為零。沒有技術的指導,可供研究和分析的對象也寥寥無幾,對當時的東恒潤鑫而言,完全就是“摸著石頭過河”。
面對這樣的現實情況,姚余先生帶領團隊從零開始艱難起步。通過對貴金屬靶材行業的研究和分析,他深刻理解到,材料的創新是提升靶材性能的關鍵,于是在產品研發過程中,他帶領團隊突破傳統材料科學的限制,不拘泥于現有的理論和技術框架,深入研究了各種合金元素的特性和相互作用機制,最終發現采用銀合金制造的靶材在導電性、導熱性和化學穩定性上要優于其他合金制造的靶材。有鑒于此,姚余先生帶領團隊開始對銀合金靶材進行細致的研究,力求研發一款質量上乘且應用范圍廣的優質靶材產品。
以往的生產過程中,許多企業由于自身技術實力的限制,在對銀合金靶材進行濺射處理時方法不當,導致靶材發生氧化反應,進而使其性能下降,最終影響了濺射薄膜的質量和性能。為了徹底解決這一問題,姚余先生經過反復研究,自創了一種名為“抗氧化性的磁控濺射銀合金靶材以及相關制備方法”的技術。
從整體上看,“抗氧化性的磁控濺射銀合金靶材以及相關制備方法”是一個多步驟的精密操作模式。首先,姚余先生及其團隊會精心選擇高純度的銀和特定的合金元素作為起始材料,所選材料都必須滿足目標靶材的性能需求和應用場景,而為了增強其自身的抗氧化性,操作時還會在材料中加入稀土元素或其他穩定化劑;進入原料混合階段時,團隊將采用獨特的攪拌技術和精確的控制手段,確保每一份原料都能充分發揮其作用,達到最佳的合金效果。這種對混合過程的精細控制,是其在制備技術上的又一創新。
隨后的熔煉過程中,團隊人員會根據原料的熔點和合金元素的特性,設定適當的熔煉溫度和時間,確保原料在完全熔化的同時達到均勻的混合狀態。而這一步驟的精確控制,對后續靶材的性能和穩定性有著至關重要的影響;在澆鑄與成型階段,團隊人員通過控制澆鑄速度和溫度,確保銀合金坯料具有均勻的組成和致密的結構。這是其在成型技術上的又一突破,使得靶材在后續加工和使用過程中表現出更好的穩定性和一致性。而在最終的表現處理環節,團隊人員將對銀合金坯料進行精細加工,并根據坯料應用需求和特性,在表面涂覆一層抗氧化膜層或通過其他物理或化學方法在靶材表面形成一層抗氧化層,以增強銀合金坯料自身的抗氧化性能。
采用這一手段進行處理后,銀合金靶材胚料自身的抗氧化能力有了顯著提升,利用其制造出的銀合金靶材品質上乘,被廣泛應用于微電子、光電子、能源等領域,產品質量常年保持在高位,市場滿意度接近100%,累計為公司營收超千萬元。
“抗氧化性的磁控濺射銀合金靶材以及相關制備方法”成功采用后,東恒潤鑫開始憑借著出色的產品質量,自身的品牌影響力迅速得到了提升,不僅有效填補了國內空白,甚至引發了國際市場的關注。本著邊擴營、邊研發、邊生產的模式,東恒潤鑫目前以稀缺貴金屬靶材產業化為目標,朝著靶材制備技術基礎問題突破、新產品及新工藝開發、生產線設備升級換代穩步推進,企業發展前景十分可觀。
2023年7月,憑借著在貴金屬靶材產業內的卓越表現,姚余先生被2023(第十屆)品牌影響力發展論壇授予“2023品牌影響力·材料行業功勛人物”稱號。能夠獲得如此重要的行業大獎,充分體現出姚余先生對推動材料行業技術升級及品牌建設事業發展有重大貢獻,同時在領域內已經擁有了很大的知名度和影響力。這對于姚余先生本人來說,既是行業給予他的充分獎勵,同時也是行業對他未來工作的殷切期盼。
對于自己未來的打算,姚余先生有著自己的想法。他決定今后將研究的重點放在貴金屬靶材生產線擴展工作中去,通過技術的革新,擴大企業在金屬靶材研發方面的規模,進一步助力企業的健康發展。同時,姚余先生也對我國金屬靶材行業的發展前景給予了充分肯定,在他看來,未來我國的金屬靶材一定能夠憑借著上乘的質量、廣闊的市場需求、智能化的制造工藝等一系列優勢走向全球,讓全球的金屬靶材行業見識到“中國制造”。
記者:陸風波

